μHシリーズの特長
μHシリーズは、シリーズは、熱膨張が極めて小さい事と共に下記の特長を有します。
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- 自由な形状・サイズ
- 鋳造品であるため、形状・大きさに制限がなく、かつ経済的です。
（重量数㎏～8,000㎏）
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- 優れた強靭性
- 機械部品として優れた強靭性を有します。
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- 良好な切削性
- 普通鋳鉄・鋳鋼と同等の切削性を有し、放電加工、研磨等により、良好な仕上面が得られます。
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- 優れた耐食性
- 空気中、大気、あるいは海水中における耐食性に優れています。
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- 優れた耐振性
- 優れた耐振性（吸振性）が高度な精密作業をサポートします。
用途・製品例
- 適用機械例
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- 半導体製造装置、検査装置
- 液晶ディスプレイ露光装置
- 電子、光学機器
- レーザー加工機
- 高速プレース機
- 精密工作機械
- 精密金型
- 精密測定器
・・・他
- 適用部材例
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- ベット
- コラム
- スライド
- スピンドル
- テーブル
- フラケット
- アーム
- ロード
- 計測器ホルダー
- サポート
・・・他
